Визуализирующий эллипсометр Nanofilm EP4 в базовой конфигурации включает:

• все необходимые оптические, механические и электронные компоненты в сборе
• монохромная GigE CCD камера (1392 x1392х1040 пиксель, 12 бит, макс. 40 кадров/сек.)
• безинтерференционный диодный лазер (658 нм, 50 мВт, сниженные эффекты интерференции)
• 10x объектив (большое рабочее расстояние, высокое апертурное число); (квадратное поле зрения: 0.4 мм, латеральное разрешение: 2 мкм)
• автофокусировка сканера
• моторизированное вертикальное перемещение оптической головки (вертикальный диапазон >100 мм с воспроизводимостью в 1 мкм)
• настройка прибора угловым выравниванием оптической головки (точность 0.001° по двум наклонным осям; диапазон настройки 5 град.)
• датчик регулировки для автоматического и независимого детектирования и позиционирования в вертикальном направлении и наклонных осях
• автоматический контроль и управление положением гониометра во всем угловом диапазоне: 38° – 90°, угловое разрешение 0.001°, абсолютная угловая точность 0.01°, скорость движения: ~ 5° / сек.)
• стол для образцов с ручным управлением
• программное обеспечение с возможностью обработки и анализа данных при включенном и выключенном инструменте

Включены программные пакеты: контроль параметров, анализ данных, моделирование.